[实用新型]一种具有通用功能的晶圆片涂布机有效
| 申请号： | 202022246768.0 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN213409275U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 戚孝峰;周鹏程;王哲琦 | 申请（专利权）人： | 争丰半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 苏利 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及涂布机的领域，尤其是涉及一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其包括容纳架，容纳架上设置有第一放置支架和第二放置支架，第一放置支架和第二放置支架之间形成用于放置晶圆片的放置空间；第一放置支架和第二放置支架均水平滑动设置在容纳架上，第一放置支架和第二放置支架的滑动方向相反。本申请具有提高晶圆片涂布机的适用范围的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 通用 功能 晶圆片涂布机 | ||
【主权项】：
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