[实用新型]一种用于曝光光源的冷却系统有效
申请号: | 202022250029.9 | 申请日: | 2020-10-12 |
公开(公告)号: | CN213876308U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 胡存银;吴志雄 | 申请(专利权)人: | 东莞康耐德智能控制有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市明诺知识产权代理事务所(普通合伙) 44596 | 代理人: | 杨建荣 |
地址: | 523000 广东省东莞市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于曝光光源的冷却系统,包括壳体、液冷散热板、电路安装板和散热风扇;所述壳体内设有进风口和排风口;所述液冷散热板设置于所述壳体内,其内均匀布满有冷却流道,前部设有分别与所述冷却流道首尾相接的进液口和回液口,上部设有用于安装LED灯板的安装孔;所述电路安装板设置于所述液冷散热板的下部,用于安装电路模块;所述散热风扇设置于所述壳体内,用于提供负压,使得外界风能从所述进风口进入,并从排风口排出;本实用新型通过设有液冷散热板、电路安装板和散热风扇,LED灯板安装于液冷散热板的上部,电路安装板安装于液冷散热板的下部,通过冷却液的循环同时对灯板和电路进行热交换,具有散热性能好的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 曝光 光源 冷却系统 | ||
【主权项】:
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