[实用新型]一种卷绕式真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊有效
申请号: | 202022251488.9 | 申请日: | 2020-10-10 |
公开(公告)号: | CN213266685U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 朱俊梅 | 申请(专利权)人: | 朱俊梅 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56;C03C17/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 516100 广东省惠州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种卷绕式真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊,包括、安装板、传送辊、安装座、连接板、连接杆、刮板,安装座长度方向两端各水平滑动连接有调节座,两个调节座设有安装支架,两个安装支架连接有纠偏轮,两个调节座由调节机构驱动其相对移动,进而使两个纠偏轮的横向间距进行调节。本实用新型的有益效果:玻璃在经由传送辊进行输送时,通过刮板对玻璃表面上的溅射残渣进行刮除,进而取代人工方式对玻璃表面的溅射残渣进行处理,降低了工人的劳动强度,另外设置了纠偏轮,通过两个纠偏轮对玻璃进行限位,使得玻璃在经由两个纠偏轮的导向限位作用下,而保证在传送辊上的位置精度,降低了后序加工设备的加工质量不稳定现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 卷绕 真空 磁控溅射 镀膜 设备 中的 传送 | ||
【主权项】:
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