[实用新型]晶体生长装置的控制系统和晶体生长装置有效
| 申请号： | 202022252777.0 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN214060710U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 陈翼;刘奇;黄末;冯参;冯厚坤 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 欧阳高凤 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体生长装置的控制系统和晶体生长装置，晶体生长装置包括炉体、坩埚和冷却套，冷却套沿坩埚的轴向可移动，控制系统包括量测装置、调节装置和控制装置，量测装置用于获取晶体等径生长阶段的直径，调节装置用于驱动冷却套沿坩埚的轴向移动，控制装置与量测装置和调节装置分别通信，且控制装置用于根据量测装置的反馈控制调节装置的状态。根据本实用新型的晶体生长装置的控制系统，便于调整固液界面处的温度梯度，使得晶体缺陷较少、直径满足预定直径。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 装置 控制系统 | ||
【主权项】：
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