[实用新型]一种具有加热媒介的薄膜沉积设备有效
| 申请号： | 202022254382.4 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN213266680U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 杨世强;蒋焕明;李海兵 | 申请（专利权）人： | 广东顺德悦田薄膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙) 44577 | 代理人： | 叶晶 |
| 地址： | 528300 广东省佛山市顺德区杏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的属于薄膜沉积设备技术领域，具体为一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其包括薄膜沉积设备、加热板、温度传感器和气体浓度传感器，所述薄膜沉积设备包括进气管、气体喷淋头和基座，所述进气管固定安装在薄膜沉积设备内腔的顶部，所述气体喷淋头固定安装在进气管的底部，所述基座固定安装在薄膜沉积设备内腔的底部，所述加热板固定安装在基座内腔的顶部，本申请文件中，能够通过本文件，便于对基座的温度进行控制，使薄膜成型的效果更好，更加的均匀，通过气体浓度检测，便于了解膜沉积设备内的气体浓度，方便操作记录，提高了装置的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 媒介 薄膜 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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