[实用新型]一种多线切机切割室清理系统有效
| 申请号： | 202022255500.3 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN214163579U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 李大伟;危晨;武瑞;杨旭洲;张小龙;李斌;贾瑞波 | 申请（专利权）人： | 无锡中环应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02;B28D5/04;B08B3/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡市宜*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多线切机切割室清理系统，至少具有：一组用于清理硅片料座上方的安装仓和料座下方的金刚线网的喷管组件一和喷管组件二；喷管组件一和喷管组件二均沿料座长度方向设置；喷管组件一分别朝安装仓侧壁和金刚线网靠近槽轮一侧的上端面喷液；喷管组件二朝金刚线网靠近槽轮一侧的下端面喷液；从喷管组件一和喷管组件二喷出的液流可沿料座高度和/或金刚线网宽度而调整。本实用新型能使切割室保持清洁，完全覆盖安装仓及所有金刚线的位置，结构设计合理，能使切割室内安装仓壁、金刚线网上的杂质快速被清洁掉，降低硅粉及杂质对硅片表面划伤的几率，清理效果好且效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多线切机 切割 清理 系统 | ||
【主权项】：
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