[实用新型]一种自动真空厌氧隧道炉有效
| 申请号： | 202022277858.6 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN213318198U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 罗佐军;胡远岗 | 申请（专利权）人： | 常州常耀半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/00 | 分类号： | B23K3/00;B23K3/08;B23K1/008 |
| 代理公司： | 杭州昱呈专利代理事务所(普通合伙) 33303 | 代理人： | 雷仕荣 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种自动真空厌氧隧道炉，包括机架、安装在机架上的运输装置、依次设置在运输装置上的预存去氧装置以及热处理装置，热处理装置包括加热腔室、安装在加热腔室内的加热组件以及连通至加热腔室内的负压管道，加热组件包括固定安装在加热腔室内的加热罩以及附着在加热罩上的换热管，加热罩罩设在运输装置上，换热管设置在加热罩上背离运输装置的侧面上，负压管道贯穿加热腔室的侧壁设置，换热管可提高加热腔室内的温度，负压管道可抽吸加热腔室的内部气体，通过换热管提高加热腔室内的温度，负压管道改变加热腔室内的气压，从而可将治具和晶圆片之间的焊锡块内的气泡抽出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 真空 隧道 | ||
【主权项】：
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