[实用新型]一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统有效
| 申请号： | 202022280377.0 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN212513240U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 王彤 | 申请（专利权）人： | 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙) 31355 | 代理人： | 丁剑 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路与第二气体支路，所述第一气体支路的内部包含有第一气体浮子流量计、第一气体质量流量计与第一气动波纹阀，所述第二气体支路的内部包含有第二气体浮子流量计、第二气体质量流量计与第二气动波纹阀，所述第一气动波纹阀的底部固定连接有气体汇流排，可以不用依靠与气体浮子流量计的对比，来判断气体质量流量计准确度，还可以在CVD设备未生产的任何时间，对所有的气体质量流量计主动进行流量校准，可主动排查是否有质量流量计的流量有偏差，方便及时，减少生产浪费和产品的故障率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cvd 涂层 设备 气体 质量 流量计 校准 系统 | ||
【主权项】：
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