[实用新型]自动化测试装置有效
| 申请号： | 202022282225.4 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN213842990U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 赵智亮;高开中;王永平 | 申请（专利权）人： | 苏州艺力鼎丰智能技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 215129 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种自动化测试装置，包括具有上基板的支架、安装于上基板上的测试座和活动安装于测试座上方的成像模块，位于测试座外侧的所述上基板的上表面上安装有一由电机驱动旋转的Y向丝杆，所述活动座上安装有一由电机驱动旋转的X向丝杆，所述测试座包括安装于上基板上的基座和连接于基座上端的圆形载板，所述圆形载板上表面开有若干个同心设置的环形槽，所述成像模块包括与X向丝杆连接板连接的支撑座和安装于支撑座上的镜头、光源，所述光源安装于镜头靠近测试座一端的下方，所述镜头远离测试座的一端上安装有一相机。本实用新型保证了成像的清晰度和精度，进而保证对晶圆测试的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 自动化 测试 装置 | ||
【主权项】：
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