[实用新型]一种用于更换直线等离子体源的装置有效
| 申请号： | 202022283213.3 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN212570414U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 桑超峰;王越;孙长江;叶灏;王奇 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G21B1/25 | 分类号： | G21B1/25;G21B1/13;G21B1/17;G21B1/05 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所有限公司 21208 | 代理人： | 郭海英;花向阳 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种用于更换直线等离子体源的装置，属于直线等离子体装置应用技术领域。这种用于更换直线等离子体源的装置采用等离子体源通过连接法兰与真空室法兰连接，在等离子体源上设有可移动的磁体线圈。连接法兰采用A型法兰、B型法兰或C型法兰。Helical型螺旋波等离子体源通过A型法兰与真空室法兰连接，蚊香型螺旋波等离子体源通过B型法兰与真空室法兰连接，六硼化镧等离子体源通过C型法兰与真空室法兰连接。通过不同的法兰接口可以连接不同的等离子体源，分别调节每种等离子体源所需要的最优磁场环境，从而快速方便的更换等离子体源，根据需求创造不同的等离子体环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 更换 直线 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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