[实用新型]一种密封式旋转匀胶设备有效
申请号: | 202022291277.8 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN214021741U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 汪竹;陈酉冰;魏益波;刘正伟 | 申请(专利权)人: | 江苏雷博科学仪器有限公司 |
主分类号: | B05C11/08 | 分类号: | B05C11/08;B05C15/00;B05D3/04 |
代理公司: | 江阴市权益专利代理事务所(普通合伙) 32443 | 代理人: | 陈强 |
地址: | 214400 江苏省无锡市江阴市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型一种密封式旋转匀胶设备,包含有主机架(3),所述主机架(3)上竖向设置有转动主轴(10),所述转动主轴(10)由主动力机构(7)驱动旋转,载物盘(4)固定安装于转动主轴(10)的顶部,且载物盘(4)位于主机架(3)的平台面上方,基片顶升机构(9)安装于主机架(3)的平台面下方,且基片顶升机构(9)的顶升件向上穿过主机架(3)的平台面,载物盘(4)上方设置有同步盖(2),且同步盖(2)的顶部中心轴旋转插接在同步盖提升机构(1)上。本实用新型一种密封式旋转匀胶设备,能够方便的对超大尺寸基片进行旋涂匀胶。 | ||
搜索关键词: | 一种 密封 旋转 设备 | ||
【主权项】:
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