[实用新型]一种刻蚀机线圈调整结构有效
| 申请号： | 202022293567.6 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN213691956U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 朱伟明;陈亮;史伟言;徐良;刘建哲;李京波 | 申请（专利权）人： | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L33/20 |
| 代理公司： | 芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128 | 代理人： | 曹宏筠 |
| 地址： | 245000 安徽省黄山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种刻蚀机线圈调整结构，包括刻蚀机工作台，设置在刻蚀机工作台上的线圈；所述线圈在刻蚀机工作台上呈开口环状布置，所述刻蚀机工作台上沿圆周方向设置有一圈可沿刻蚀机工作台半径方向前后移动的调整杆，所述线圈靠压在调整杆的内侧面上，所述刻蚀机工作台位于每个调整杆的一侧设置有调节座，所述调节座上设置有转动丝杆，所述调整杆上设置有与转动丝杆相适配的丝杆螺母。本实用新型能够准确对线圈的位置进行调整，且调整方便，准确度高，可广泛应用于刻蚀机线圈调整领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 线圈 调整 结构 | ||
【主权项】：
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