[实用新型]晶圆测试用旋转机构有效
| 申请号： | 202022300222.9 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN213875444U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 夏儒斐 | 申请（专利权）人： | 东舟技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 | 代理人： | 张凡 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆测试用旋转机构，包括基板、晶圆载物台、传动带模组、旋转微调装置，所述晶圆载物台、传动带模组、旋转微调装置设于基板上，所述晶圆载物台与旋转微调装置通过传动带模组传动连接；所述晶圆载物台用于吸附晶圆，所述晶圆载物台相对基板可转动；所述传动带模组包括主动轮、从动轮以及传动连接主动轮与从动轮的同步传动带，所述从动轮设于晶圆载物台；所述旋转微调装置包括连接筒、转轴以及旋钮，所述连接筒设于基板，所述转轴可转动的设于连接筒内，所述转轴上端连接主动轮，所述转轴下端连接旋钮。本实用新型提供的晶圆测试用旋转机构，检测可靠性好。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 旋转 机构 | ||
【主权项】：
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