[实用新型]一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构有效
| 申请号： | 202022302515.0 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN213895989U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 刘宸佳;刘志成 | 申请（专利权）人： | 江阴市中兴光电实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 孙燕波 |
| 地址： | 214442 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构，属于镀膜机技术领域。包括固定筒和固定于镀膜机顶部的环形底盘，所述环形底盘上设置罩体，所述固定筒内穿设中空式定轴，所述固定筒和定轴穿设罩体，且穿过所述环形底盘伸入镀膜机真空膜腔；所述定轴内腔设有内转筒，所述内转筒能够在定轴内腔转动；所述内转筒外圆周上设有比较片加热单元，所述定轴底端设有比较片单元，所述比较片加热单元设于比较片单元上方，对比较片单元进行加热；所述内转筒内腔穿设晶控探头。本申请将晶控探头和比较片相结合，不仅提高了检测膜厚的精度，而且扩大了膜厚层数范围，增加了镀膜产品种类。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光控 系统 镀膜 膜片 公转 结构 | ||
【主权项】：
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