[实用新型]新型高抗动态闩锁能力的功率器件

摘要

本实用新型公开了一种新型高抗动态闩锁能力的功率器件，包括多个元胞结构，每个元胞结构包括衬底，衬底顶部设有沟槽、第一阱区和第二阱区，沟槽内设有沟槽栅，第一阱区和第二阱区分别设于沟槽两侧，第一阱区和第二阱区顶部分别设有第一源区和第二源区，第一源区和第二源区分别设于沟槽两侧，第一源区、第二源区和沟槽栅顶部设有金属层，其中，第一源区与第一阱区之间设有第一绝缘层，第二源区与第二阱区之间设有第二绝缘层。本实用新型能够在不影响阈值电压的情况下，实现高抗动态闩锁能力。