[实用新型]一种装卸片用吸盘

摘要

本实用新型公开了一种装卸片用吸盘，包括设置在硅片上方的吸盘，还包括机架，机架上设有横梁，横梁内转动设有丝杆，丝杆上转动设有滑座，滑座的一端设有伸缩缸，伸缩缸的一端伸出横梁设有安装架，吸盘的一侧设有固定架，固定架上设有连接安装架的套管，吸盘上设有吸附腔，吸附腔为三段式结构，吸附腔包括依次连接的收缩段、平顺段、扩散段，吸附腔的一侧设有抽吸孔，抽吸孔的另一端与套管连通，套管的一端通过软管连接有吸附装置。本实用新型与现有技术相比的优点在于：伸缩缸控制吸盘下落与硅片紧贴，缓冲垫具有高回弹性，减少对硅片的磨损；通过吸附装置与吸附腔配合，将硅片牢牢吸附住。