[实用新型]单晶硅检测样片混酸抛光清洗装置有效
| 申请号： | 202022303934.6 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN213337009U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 冉泽平;谢国荣;祁海滨;倪浩然;李金波;王忠保;王凯 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N1/34 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 曹广涛 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种单晶硅检测样片混酸抛光清洗装置，包括混酸槽、酸液恒温部件、隔膜泵，酸液恒温部件包括酸液热交换组件、恒温组件，酸液热交换组件包括箱体，箱体内的顶部设有上部缓冲箱、箱体内的底部设置下部缓冲箱，箱体的内部设有恒温介质输送管，恒温介质输送管分别与下部缓冲箱、下部缓冲箱的内部连通，恒温组件分别与上部缓冲箱、下部缓冲箱的内部连通；本实用新型通过恒温组件可将温度一定的介质输送至恒温介质输送管，利用恒温介质与箱体内的混酸进行热交换，使混酸的温度处于恒定，通过隔膜泵的循环作用，使混酸槽内的混酸不断在混酸槽内进行循环，保证反应槽中的酸液反应温度，使混酸槽内混酸温度波动变小，从而保证单晶硅样片检测的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 检测 样片 抛光 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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