[实用新型]有源矩阵数字微流控芯片基板有效
| 申请号： | 202022308169.7 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN212396773U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 霍亚洲;杨柳青;吴玥;张东锋;刘聪;王超 | 申请（专利权）人： | 安图实验仪器（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 | 代理人： | 韩华 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种有源矩阵数字微流控芯片基板，包括基板和设置在基板上的晶体管；晶体管的源极、源极引出线、漏极、漏极引出线同层设置于基板上，源极和源极引出线为一体成型结构，漏极和漏极引出线也为一体成型结构，有源层设置于源极和漏极之间；位于源极、源极引出线、漏极、漏极引出线和有源层上表面涂覆有绝缘层，绝缘层上表面设置有栅极引出线，位于有源层位置处设置有栅极，栅极和栅极引出线为一体成型结构；栅极和栅极引出线上表面涂覆有介电层，介电层上表面涂覆有疏水层。本实用新型避免了传统有源矩阵数字微流控芯片基板采取底栅结构的源级、漏极在制作时对有源层蚀刻的影响，大大提高了晶体管器件的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 矩阵 数字 微流控 芯片 | ||
【主权项】：
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