[实用新型]一种用于金属陶瓷复合纳米涂层的镀膜装置有效
| 申请号： | 202022331035.7 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN213624350U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 刘平 | 申请（专利权）人： | 妙壳新材料科技（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/50;C23C14/54;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 聂颖 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市长安镇霄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于复合纳米材料镀膜技术领域，提供了一种用于金属陶瓷复合纳米涂层的镀膜装置，其特征在于，包括真空箱、顶盖、铰支架、密封窗、第一蒸发室、第二蒸发室、第三蒸发室、真空泵、冷凝泵，由于所述行星轮、所述太阳轮和所述内啮合齿轮构成行星轮系，且所述内啮合齿轮固定在真空箱下部，所以所述行星轮在实现围绕所述太阳轮公转的同时可以实现自转，这样有利于多个靶材的镀层，同时保证靶材的镀层均匀，而多个蒸发室则能满足复合纳米涂层的镀膜要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属陶瓷 复合 纳米 涂层 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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