[实用新型]翻片式硅片下片机有效
| 申请号： | 202022332823.8 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN213445054U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 闫善韵 | 申请（专利权）人： | 苏州林赛自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G47/82;B65G47/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及下片机领域，尤其是翻片式硅片下片机。该下片机包括下片室、花篮升降机构、花篮定位机构、硅片推出机构、硅片提升机构、硅片翻面机构、皮带输送机、硅片定位盘、平台，所述下片室内固定有硅片提升机构、平台、硅片翻面机构，皮带输送机穿过下片室，硅片翻面机构位于平台和皮带输送机之间，硅片提升机构位于平台上方，平台一端固定有硅片推出机构，平台下方设有花篮升降机构。本实用新型通过花篮升降机构配合花篮定位机构来升降花篮。通过硅片推出机构将花篮内的硅片逐一推出。通过硅片提升机构配合硅片翻面机构将硅片翻面并放置到硅片定位盘上。通过皮带输送机输出硅片。本申请提高了硅片下片的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 翻片式 硅片 下片 | ||
【主权项】：
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