[实用新型]一种硅麦基板加工用干燥装置有效
| 申请号： | 202022339425.9 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN213273514U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;王小波;郑强 | 申请（专利权）人： | 无锡矽晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B21/04;F26B21/08;F26B25/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅麦基板加工技术领域，具体涉及一种硅麦基板加工用干燥装置，包括干燥箱，干燥箱的前侧壁铰接有密封门，干燥箱的内腔中部设有若干放置网板，干燥箱的左右两侧壁上下两侧对称固定插接有加热布气盘，且下侧加热布气盘的外侧壁上安装有抽风机，抽风机的输入端连通有循环管，循环管的上端与上侧加热布气盘的内腔相连通，抽风机的输出端与下侧加热布气盘的内腔相连通；加热布气盘包括壳体、布气孔和加热网板，远离循环管一侧的壳体侧壁上开设有若干布气孔，壳体的内腔内嵌设有加热网板；解决了加热干燥气流分布不均匀、使其与硅麦基板的表面接触不均匀，导致干燥效果差，同时缺乏对加热干燥过程中产生的湿气进行过滤除湿的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅麦基板加 工用 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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