[实用新型]一种静电夹盘及其等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202022343117.3 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN213546260U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 黄国民;赵函一;吴狄;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 张妍;贾慧琴 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本实用新型公开了一种静电夹盘，包括静电吸附层和位于静电吸附层下方的基座，静电吸附层为陶瓷材料，基座包括靠近静电吸附层的第一金属层和位于第一金属层下方的第二金属层，第一金属层的热膨胀系数大于静电吸附层的热膨胀系数，小于等于第二金属层的热膨胀系数，第一金属层的热膨胀系数小于15×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 静电 及其 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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