[实用新型]一种半导体加工清洗装置有效
| 申请号： | 202022352994.7 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN214321047U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 占方耀 | 申请（专利权）人： | 陕西启航测量设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 51308 | 代理人： | 谷科均 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市雁*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体加工清洗装置，包括底座，所述底座上固定连接有L型板，所述L型板的顶部固定连接有电动机，所述电动机的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆上设有旋转机构，所述底座上设有两个收集箱，所述L型板的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有清洗机构，所述清洗机构上设有控制机构。本实用新型，结构合理，设有旋转机构和清洗机构能对不同半径大小的圆柱体进行清洗，适用范围广；设有控制机构能对半导体均匀清洗，清洗效果好，且能在停止加工时停止喷水，节约用水。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 加工 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西启航测量设备有限公司，未经陕西启航测量设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022352994.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
