[实用新型]一种基于MEMS的压电式湿度传感器有效
| 申请号： | 202022354468.4 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN213986283U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 周钢 | 申请（专利权）人： | 无锡三聚阳光知识产权服务有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李博洋 |
| 地址： | 214001 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种基于MEMS的压电式湿度传感器，包括箱体，所述箱体的内壁左侧连通有塑料板，所述固定机构包括卡杆、第一扭力弹簧和滑轮，两个所述卡杆分别通过连接轴与箱体盖的顶部左右两侧转动相连，所述第一扭力弹簧的内壁与连接轴的外壁间隙配合，两个所述卡杆分别与两个卡槽相卡接，两个所述卡杆均通过连接轴转动相连有滑轮。该基于MEMS的压电式湿度传感器，使得通过箱体和箱体的贴合，并通过橡胶圈将箱体和箱体进行密封，对MEMS湿度传感器进行密封保护，避免湿气渗透，造成MEMS湿度传感器损坏，使得竖板通过第二扭力弹簧的弹性形变，将MEMS湿度传感器放置在箱体的内壁并进行固定，使得MEMS湿度传感器与箱体进行快速的固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 压电 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
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