[实用新型]混搅晶圆研磨液机台改进结构有效
| 申请号： | 202022355579.7 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN214438112U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 史紫柔;吴浚宇 | 申请（专利权）人： | 宸沅国际股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/16 | 分类号： | B01F7/16;B01F15/02 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 董京杜;张静汝 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种混搅晶圆研磨液机台改进结构，从座架的顶围环壁锁设数个螺丝穿抵夹混搅筒加强固定，且将贴固在混搅筒壁上之的竖架，改从座架旁临近搅拌筒地板面竖起，使混搅筒运转时与座架传运转震力通到机台的座架基底，下传震力降低荡晃动量，加上竖架与筒壁不直接相接，让传感器隔空近距感应筒内液位，不使混搅筒接触震损传感器，影响测量回控精度，此为本创作初步的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 混搅晶圆 研磨 机台 改进 结构 | ||
【主权项】：
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