[实用新型]一种高精度标尺线纹刻划系统

摘要

本实用新型公开了一种高精度标尺线纹刻划系统，机床上设有微动工作台，微动工作台下设四个精密级钢球，微动工作台右边与微动元件连接，微动工作台左边通过球形圆柱与弹簧连接，微动工作台上面安装高精度纳米光栅，且待测标尺置于微动工作台上；机床通过伺服电机带动精密级丝杆运动，伺服电机与伺服驱动器组件连接，伺服驱动器组件与小伺服电机连接，小伺服电机与刻刀机构连接，刻刀机构限位开关位于待测标尺上方；伺服驱动器组件与闭环控制器连接，闭环控制器与微动元件连接；所述闭环控制器连接人机软件界面。本实用新型实现纳米级刻划和纳米级定位，实现不同等级标尺的刻划，提高了刻划效率，可以批量生产。