[实用新型]晶圆研磨液混搅筒入料端的浮动套头有效
| 申请号： | 202022358998.6 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN213913608U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 史紫柔;吴浚宇 | 申请（专利权）人： | 宸沅国际股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/02 | 分类号： | B01F15/02 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 董京杜;张静汝 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种晶圆研磨液混搅筒入料端的浮动套头，由一管外套帽及一入料口榇环所组成，其中管外套帽中央形成紧密包夹原料输送管的夹管环，于夹管环顶向外围平展伸出防尘环板，从防尘环板外围向下凸出侧挡环，于夹管环与侧挡环之间形成环凹空间，入料口榇环外壁紧密黏固晶圆研磨液混搅筒的入料口，且小于侧挡环内壁，至于入料口榇环内壁大于夹管环外壁，并为内螺旋形状，整个入料口榇环凸出入料口顶缘，并于临近入料口外的管身外束管外套帽，使管外套帽高过入料口榇环，且将整个入料口榇环包容于环凹空间下端产生防尘遮护。解决了晶圆研磨液混搅筒的原料输送管与入料口之间，仰赖无空隙塞头套接无法防止侧向力引发原料输送精准度失准的缺失。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 液混搅筒入料端 浮动 套头 | ||
【主权项】：
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