[实用新型]一种半导体生产用静电消除装置

摘要

本实用新型涉及半导体生产技术领域，公开了一种半导体生产用静电消除装置，包括底座，气箱的底部开设槽口的内壁顶部和导电橡胶垫的顶部固定连接，气箱的顶部左侧开设孔洞和波纹管的底部连通，波纹管的顶部和导气管的底部端口连通，导气管的左侧端口和气泵的右侧端口固定连接。本实用新型通过升降导电橡胶垫和半导体芯片接触将半导体芯片上的静电电荷转移接地消除，达到快速消除半导体芯片上的静电的作用，在导电橡胶垫和半导体芯片分离时，通过导电橡胶垫底部槽口吹出的气体帮助导电橡胶垫和半导体芯片脱离的同时帮助清除半导体芯片顶部的灰尘，达到防止半导体芯片粘连在导电橡胶垫上和帮助清洁半导体芯片的作用。