[实用新型]—种金刚石MPCVD设备用冷却装置有效
申请号: | 202022370248.0 | 申请日: | 2020-10-22 |
公开(公告)号: | CN214004782U | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 满卫东;龚闯;朱长征;吴剑波;蒋梅荣 | 申请(专利权)人: | 上海征世科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/511 | 分类号: | C23C16/511;C23C16/27;F25D31/00 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 周琼 |
地址: | 201799 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供—种金刚石MPCVD设备用冷却装置,涉及冷却装置技术领域,包括主机体,主机体的一侧侧壁开设有散热孔,主机体的侧壁活动连接有散热箱,散热箱靠近主机体的一侧侧壁固定安装有散热中空柱,散热箱的内部固定连接有冷却散热装置,冷却散热装置的内部设置有卡扣组件。本实用新型,可以将风冷的散热与水冷的冷却相互配合,提高了散热效果,散热箱搭配散热中空柱的设定使整个金刚石MPCVD设备用冷却装置以外部插设的形式进行连接,避免了金刚石MPCVD设备用冷却装置损坏时因拆装而耗费的人力物力,随时更换的情况让金刚石MPCVD设备用冷却装置的拆装变得简单,使在需要对水泵进行更换或清洗时的拆装变得方便快捷。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 mpcvd 备用 冷却 装置 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的