[实用新型]一种新型靶材保护系统有效
| 申请号： | 202022375498.3 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN213739650U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 时昌茹 | 申请（专利权）人： | 深圳市绿谷离子镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人： | 涂萧恺 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型靶材保护系统，其特征在于：包括挡片（16）和挡片开闭机构（1），两者位于第一腔室（2）中，所述挡片（16）位于靶材（13）与基片（21）之间，所述挡片（16）通过所述挡片开闭机构（1）实现开启或关闭。本实用新型通过传动机构推动挡片开合阻止大颗粒物质对靶材的影响以达到靶材保护的目的。并且操作方便，保护效果好，应用范围广等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 保护 系统 | ||
【主权项】：
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