[实用新型]补充掺杂装置及直拉单晶炉有效
申请号: | 202022392105.X | 申请日: | 2020-10-23 |
公开(公告)号: | CN214088736U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 罗向玉;徐鹏国;马学贵;王弘威 | 申请(专利权)人: | 银川隆基光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/04 | 分类号: | C30B15/04;C30B15/00 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 750000 宁夏回族自治区银川*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本申请涉及单晶硅生生产技术领域,公开了一种补充掺杂装置及直拉单晶炉,补充掺杂装置用于直拉单晶炉,包括储料部,连接杆和外转接部,其中,所述外转接部的一端用于与所述直拉单晶炉连接,所述外转接部的另一端与所述连接杆一端可拆卸连接,所述连接杆另一端与所述储料部一端连接,所述储料部另一端设有出料口。该装置能够在拉制单晶的过程中放入单晶炉内,储料部内放置补充掺杂剂,通过连接杆的延伸可将补充掺杂剂在硅熔液中的掺杂范围扩大,通过转动,可进一步提高掺杂剂进入硅熔液的速度和均匀性,从而保证所拉制的单晶硅棒各个部分掺杂剂的均匀性,提高了制备的当前单晶硅棒的电阻率均匀性,进而提高了当前单晶硅棒的品质。 | ||
搜索关键词: | 补充 掺杂 装置 直拉单晶炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
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