[实用新型]一种光阻涂布装置有效
| 申请号： | 202022399368.3 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN213581732U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 钟兴进 | 申请（专利权）人： | 广州市鸿浩光电半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 广州正驰知识产权代理事务所(普通合伙) 44536 | 代理人： | 洪安鹏 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及涂布技术领域，具体为一种光阻涂布装置，包括涂布装置，所述的涂布装置的上端两侧固定连接有搭架，且所述的搭架的两端安装有固定板；所述的涂布装置上端有安装用于进行涂布的涂布机构，所述的涂布机构通过固定架调节固定在涂布装置的上端，本实用新型通过设置的一种涂布装置，通过涂布时通过可调节的固定架，在进行涂布时，可以通过调节涂布筒在涂布装置上端的安装位置，使得涂布筒能够在不同的位置进行涂布，使得涂布的位置可调节，保证了涂布过程的灵活性，同时无需加装涂布装置，降低了加工的成本，同时提高了加工的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光阻涂布 装置 | ||
【主权项】：
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