[实用新型]一种制备Topcon电池钝化膜层的装置

摘要

本实用新型公开了一种制备Topcon电池钝化膜层的装置，包括载入腔、预热腔、真空传输腔、镀膜模组和载出腔，所述载入腔与预热腔相连接，所述预热腔设置于真空传输腔的一侧，沿着所述真空传输腔的周围设有多个镀膜模组，多个所述镀膜模组采用团簇式排列，所述载出腔与真空传输腔相连接，所述真空传输腔内设有机械手，所述镀膜模组包含外真空腔体、镀膜腔。本实用新型的有益效果是：团簇式多层堆叠镀膜腔，可提升产能、减少占地面积、降低成本、减少镀膜均匀性变差；板式ALD与PECVD或板式PEALD与PECVD结合的镀膜方式，实现在线掺杂，提高镀膜速率，提高产能，满足Topcon电池不同钝化膜层的性能质量需求。