[实用新型]潘宁离子源有效

专利信息
申请号: 202022402787.8 申请日: 2020-10-26
公开(公告)号: CN212907638U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 郭方准;石晓倩 申请(专利权)人: 大连交通大学
主分类号: H01J27/04 分类号: H01J27/04;H01J1/30
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 徐华燊;李洪福
地址: 116028 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型涉及一种潘宁离子源,主要由磁石机构、离子产生与引出机构、离子加速机构组成。在这个核心构造中要产生氩离子,并完成对离子的加速。本实用新型的磁石机构是由磁石外罩和磁石构成,给电子施加洛伦兹力,电子做螺旋线运动,增加电子与氩气原子的碰撞概率;本实用新型离子产生与引出机构是由阳极筒、阴极压片、带孔阴极压片和阴极屏蔽罩构成,氩气进入阳极筒内,由于部分电子的存在,在电场和磁场的作用下,这些电子会与氩原子碰撞产生氩离子,产生的氩离子通过带孔阴极压片射出,小孔的作用可以约束离子束流的指向,也可以调节束流的大小。本实用新型结构加简单紧凑,可持续可靠工作。
搜索关键词: 离子源
【主权项】:
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