[实用新型]改善吹风洁净度的光刻机系统

摘要

本实用新型公开了改善吹风洁净度的光刻机系统，包括装置箱，所述装置箱的正面设置用控制机构，所述装置箱的内底壁设置有工作台，所述工作台的上方设置有光刻镜头，所述装置箱的左侧表面分别固定安装有支撑板、烘干箱和喷淋箱，所述支撑板的上表面分别固定安装有气泵和过滤箱，所述支撑柱远离喷淋箱的一端固定安装有储水箱。该改善吹风洁净度的光刻机系统，通过设置风机、喷淋箱、储水箱、喷淋头、烘干箱、气泵和过滤箱，在对光刻机工作台和光刻镜头进行吹风清理时，能够首先对气流进行喷淋除尘，之后再进行烘干去潮，最后经过活性炭颗粒进行进一步清洁过滤，从而提升了吹风清洁时气流的洁净度，避免了对光刻镜头造成腐蚀或者磨损。