[实用新型]转接组件和气相沉积设备有效
| 申请号： | 202022452310.0 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213576138U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 左国军;梁建军;柳昆鹏 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F16L41/03 | 分类号： | F16L41/03;C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;王淑梅 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种转接组件和气相沉积设备，其中，转接组件包括承载架；连接部，连接部设置于承载架上，连接部上设置有多个连接件；液体分配组件，液体分配组件通过连接件与连接部相连接；气体分配组件，气体分配组件通过连接件与连接部相连接。本实用新型提供的转接组件，实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置，进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体分配组件的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。 | ||
| 搜索关键词： | 转接 组件 和气 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州捷佳创精密机械有限公司，未经常州捷佳创精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022452310.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
