[实用新型]一种小直径晶片清洗盒

摘要

本实用新型公开一种小直径晶片清洗盒，包括盒体、设置于盒体上的多个清洗槽及定位孔，所述清洗槽的两侧沿其长度方向对称设有内壁为弧面的多个夹持槽，位于清洗槽同一侧上的相邻夹持槽呈间隔设置；位于清洗槽底部的盒体上沿清洗槽的长度方向设有多个透水孔。清洗时晶片放置在夹持槽内，相邻晶片之间存在间距，避免叠片现象的出现，保证单个晶片的清洗需要，洗净质量高，同时清洗盒具有定位孔，允许将至少两个清洗盒叠放在一起实现组合式清洗，不但清洗数量多，而且清洗过程中放置于相对夹持槽内的晶片受另一清洗盒的覆盖，避免因晶片体积小漂浮起来造成的跑料、丢料现象。