[实用新型]靶材背板有效
| 申请号： | 202022456979.7 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213835519U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 周磊;窦沛静;张竞中 | 申请（专利权）人： | 珠海和泽科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23P15/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张龙哺 |
| 地址： | 519045 广东省珠海市金湾区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，所述流道具有进液口和出液口，所述流道可供冷却液流动；盖板，设置于所述背板主体的背面并遮盖所述流道；密封圈，设置于所述盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。使用时，可将靶材设置于背板主体的正面，使冷却液可从位于背板主体背面的流道进液口流入，从出液口流出，冷却液可将位于背板主体正面的靶材的热量带走，从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，进而可提升镀膜质量。此外，设置于盖板与流道之间的密封圈可对流道起到密封作用。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 | ||
【主权项】：
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