[实用新型]一种半导体硅单晶炉隔离阀室的阀盖装置有效
| 申请号： | 202022461195.3 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN213804061U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘丁;弋英民;张晶;张新雨;黄伟超 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 韩玙 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体硅单晶炉隔离阀室的阀盖装置，包括阀盖板，阀盖板上设置有摆臂，摆臂的一端通过销轴与阀盖板中心位置固定，摆臂的另一端与阀板轴连接，阀盖板上还设置有进水金属波纹软管和出水金属波纹软管，进水金属波纹软管和和出水金属波纹软管通过水槽与所述阀板轴上的水槽相通，阀板轴与阀盖座通过过盈配合安装在一起。本实用新型解决了现有技术中存在的半导体单晶炉阀盖由于高温易变形进而影响主炉室和副炉室的隔离效果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 硅单晶炉 隔离 装置 | ||
【主权项】：
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