[实用新型]一种硅基光电探测器

摘要

本实用新型属光电领域，公开了一种硅基光电探测器，可用于紫外波段、可见光波段、近红外波段，所述的硅基光电探测器为复合层式结构，沿着光入射方向依次包括正面金属薄膜层、无序纳米碗阵列化硅基底、背面金属薄膜层。正面金属薄膜和无序纳米碗阵列层的复合结构可以显著抑制200～2500nm波段范围内的光反射，硅基底背面的金属薄膜近乎完全反射到达硅基底界面的光子，使得器件整体的透射率接近零。本方案可以在室温、无外加偏压下对紫外至近红外波段的光子实现光电响应和有效探测，且对光子的偏振和入射角度不敏感。