[实用新型]一种掩膜版表面缺陷检测装置有效
| 申请号： | 202022495825.9 | 申请日： | 2020-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN213715069U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 校微娜 | 申请（专利权）人： | 上海禾本电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200030 上海市徐*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜版表面缺陷检测装置，包括设备本体，所述设备本体内腔的顶部固定连接有丝杠，所述丝杠的表面滑动连接有进步电机，所述进步电机的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端固定连接有激光发生器，所述激光发生器的底部固定连接有激光扫描器。通过设计的丝杠、进步电机、电动伸缩杆、激光发生器、激光扫描器等结构之间的相互配合下，可以对掩膜版表面的缺陷进行检测，增加设备对掩膜版表面缺陷检测的使用效果，也使得设备的实用性能增加，有效的解决了设备对掩膜版检测的工作效率下降设备的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 表面 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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