[实用新型]一种晶圆加工用可调式定位夹具有效
| 申请号： | 202022495967.5 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN213647161U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 殷泽安;殷志鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州译品芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B28D7/04 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 215143 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括第一夹块，所述第一夹块的外侧固定有第一侧板，所述第一夹块的外侧固定有第二侧板，所述第一侧板与第二侧板大小相同，所述第一侧板的外侧固定有连接板，所述第一侧板通过连接板与第二侧板相互连接，所述第一夹块的上端开设有第一橡胶卡槽，所述第一夹块的上端固定有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆对称设置有两个，所述第一螺纹杆的外侧设置有第二夹块。该晶圆加工用可调式定位夹具，将第三夹块外侧的第二滑块沿着第二滑槽滑动至合适的位置，通过第一滑槽与第一滑块的滑动连接对第三夹块进行限位处理，拧紧第三旋钮对第二滑块的位置进行固定，实现了对晶棒的位置调整处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆加 工用 调式 定位 夹具 | ||
【主权项】：
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