[实用新型]蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 202022501396.1 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214115715U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 冯俊敏;张万财;吴婷婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市海瀚新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 吕露 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了蒸发镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。蒸发镀膜设备包括真空室，置于真空室内且沿着纵向方向排列的至少两个蒸发舟，用于控制基材运行的卷绕系统；每个蒸发舟均配设有隔离室和用于输送丝体的送丝系统，蒸发舟位于隔离室内，丝体穿过隔离室且丝体与蒸发舟接触；真空室的上方设有流通室，流通室的上端敞开，流通室的内腔与隔离室的内腔形成流通通道，基材水平从流通室的上端经过。显著提高镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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