[实用新型]一种MEMS光刻音叉晶体振子频率测试探针卡有效

专利信息
申请号: 202022525570.6 申请日: 2020-11-05
公开(公告)号: CN213581075U 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 谢凡;黄大勇;汪晓虎;张小伟;詹超 申请(专利权)人: 随州泰华电子科技有限公司
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073;G01R23/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 441300 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种MEMS光刻音叉晶体振子频率测试探针卡,其组成包括PCB电路板,其特征在于:所述PCB电路板的中上部呈扇形均匀设置有多个连接点一,所述PCB电路板的中下部正中位置横向均匀设置有多个连接点二,所述连接点二的下方设置有探针区,所述探针区内均匀固定安装有多个探针,所述连接点一、连接点二和探针从左至右一一对应且相互连通,所述连接点一处焊接有连接线,所述PCB电路板的底部两端对称设置有定位孔。本实用新型通过PCB电路板将探针和连接线集成到一个电路板上,集成度更高,使用更方便,检测效率也更高。
搜索关键词: 一种 mems 光刻 音叉 晶体 频率 测试 探针
【主权项】:
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