[实用新型]MEMS传感器和电子设备有效
| 申请号： | 202022531977.X | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN213679813U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 徐海胜 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS传感器和应用该MEMS传感器的电子设备。其中，MEMS传感器包括外部封装结构和设于外部封装结构内的MEMS芯片，外部封装结构包括电路板，电路板开设有供外部声波传入的入声孔，外部封装结构还包括第一阻挡层和第二阻挡层，第一阻挡层和第二阻挡层沿入声孔的入声方向依次间隔设置，第一阻挡层开设有第一透声孔，第二阻挡层开设有第二透声孔，第一透声孔和第二透声孔错位设置。本实用新型的技术方案可降低MEMS传感器中MEMS芯片的振膜破裂的几率，降低产品的报废可能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
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