[实用新型]一种插入式靶材旋转检测装置有效
申请号: | 202022541760.7 | 申请日: | 2020-11-06 |
公开(公告)号: | CN214502407U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 何建进;陈江伟;何凌男 | 申请(专利权)人: | 苏州精美科光电材料有限公司 |
主分类号: | G01B21/10 | 分类号: | G01B21/10;G01B21/00 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 黄少波 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种插入式靶材旋转检测装置,包括工作台,所述工作台上设置有两条对应设置的轨道,所述轨道两侧均设置有第一驱动机构,所述第一驱动机构通过连接杆连接有固定装置,所述固定装置包括移动轴,所述移动轴上设置有多块移动板,所述工作台中心在两条轨道对应的位置设置有升降柱;所述工作台两侧设置有升降杆,所述升降杆之间设置有顶板,所述顶板上对应所述升降柱的位置设置有圆形轨道,所述圆形轨道内设置有两个沿滑轨周向对称分布的滑块,所述滑块下方设置有检测装置。本实用新型结构简单,固定结构好,可以对不同形状的靶材进行高精度的内轴检测,在操作的过程中也可以实现较好的固定效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 插入 式靶材 旋转 检测 装置 | ||
【主权项】:
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