[实用新型]一种多晶硅铸锭炉石墨加热器

摘要

本实用新型涉及多晶硅铸锭的技术领域，特别是涉及一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其通过对坩埚的顶端、底端和侧壁同时加热，使得坩埚内的硅料受热均衡，便于坩埚内的晶体稳定地垂直生长，提高晶体质量，提高装置的实用性；包括炉体、三组支撑腿、四组石墨支撑柱、定向助凝块、底部石墨加热器、坩埚、侧部石墨加热器、上盖、三组石墨连接柱、顶部石墨加热器和两组升降机构，三组支撑腿的顶端均与炉体的底端连接，四组石墨支撑柱的底端均与炉体的腔室底端连接，四组石墨支撑柱的顶端均与定向助凝块的底端连接，底部石墨加热器的底端与定向助凝块的顶端连接，坩埚放置在底部石墨加热器的顶端，侧部石墨加热器套装在坩埚的外侧。