[实用新型]一种镀膜机U型槽用气路机构

摘要

本实用新型公开了一种镀膜机U型槽用气路机构，U型槽由底座和两侧对称倾斜设置的侧板所形成，沿着U型槽的延伸方向等距离的开设有若干个呈线性分布的通气孔，在所述U型槽的背面对应于所述通气孔的位置开设有贯通的气体管道，所述通气孔连通所述气体管道的内腔，所述气体管道的端部设有控制阀，所述控制阀的另一端与特气供应管路连接。本实用新型所改进的U形槽，通过在U形槽的背面设置的气体管路，并将该气体管路与特气管路采用可拆卸式的方式连接，便于发生故障时方便拆卸硅烷特气管路以减少排查时间。