[实用新型]一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置

摘要

一种利用飞秒激光多路并行技术制备衍射光栅的装置，该装置包括飞秒激光系统、第一准直光阑，第二准直光阑，二分之一波片、格兰泰勒偏光镜、电子高速快门、第一计算机、第一凸透镜、针孔滤波器、第二凸透镜、双色镜、Dammann光栅、汇聚透镜、三维精密移动平台、附有金属膜的玻璃基片、照明光源、半透半反镜、CCD相机、第二计算机、氦氖激光光源。该实用新型基于Dammann光栅均匀分束性质实现飞秒激光多路并行直写加工，大大提升了加工效率；加工过程采用LabView软件编写控制程序，可一次性完成光栅加工，调节方便；采用CCD相机实时观测加工光栅的表面形貌及反射光衍射图样，保证了加工质量。本实用新型在利用飞秒激光制备光栅方面具有良好的应用前景。