[实用新型]一种真空镀膜用基片载架夹持装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜用基片载架夹持装置，包括顶板，顶板下方两侧对称安装着两个侧板，所述侧板包括连接到顶板的导向块和与导向块平行的限位块，导向块上安装有定位柱，定位柱的数量不小于两个，定位柱穿过导向块，定位柱上安装着连接板，连接板位于靠近限位块的一侧，定位柱上安装有复位弹簧，复位弹簧的两个自由端分别固定在连接板和限位块上，限位块的外侧安装有电磁铁，电磁铁铁芯穿过限位块连接到连接板，限位块上开设有通孔，通孔与定位柱同轴且直径大于定位柱直径。本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜用基片载架夹持装置，用于在真空镀膜过程中自动化地取放基片载架，提高真空镀膜效率。